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SEMICON China 2025在上海开幕！新凯来首次公开亮相火了：一口气发布数十款装备，覆盖半导体制造全流程

2025-05-08 【字体：大中小】

格隆汇3月27日｜3月26日，SEMICON China 2025在上海开幕。在本次展会上，新凯来展区人头攒动。这是新凯来首次公开亮相，同时发布多款产品，覆盖半导体制造全流程。发布的产品，在工艺装备方面包括：扩散装备RTP(三清山)、EPI(峨眉山)；刻蚀产品ETCH(武夷山)；薄膜产品PVD(普陀山)、CVD(长白山(603099))、ALD(阿里山)。在量检测装备方面包括：光学检测产品岳麓山BFI、丹霞山DFI、蓬莱山PC、莫干山MBI；光学量测产品天门山IBO、天门山DBO；PX量测产品沂蒙山AFM、赤壁山-XP XPS、赤壁山-XD XRD、赤壁山-XF XRF；功率检测产品RATE-CP、RATE-KGD、RATE-FT。

(责任编辑：宋政 HN002)

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